直線(xiàn)電機平臺用于晶圓、藍寶石等檢測，由Akribis高性能無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機驅動(dòng)；XY軸采用交叉滾柱導軌，中空結構，內置光柵系統。分辨率50nm，重復定位精度可達士0.75um，絕對定位精度2um；有效行程70*70mm，最大速度200mm/s；可定制。